退火爐是一種在半導(dǎo)體器件制造中使用的工藝設(shè)備，主要用于加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。
退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理，退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。

退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

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退火爐的主要作用包括：
軟化處理：在金屬材料的加工和制造過(guò)程中，由于機(jī)械加工、冷加工等因素，材料內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力集中和變形，導(dǎo)致材料的硬度增加。通過(guò)退火爐的加熱和冷卻處理，可以使材料內(nèi)部的晶界重新排列，消除應(yīng)力和變形，使材料恢復(fù)到初始狀態(tài)，從而達(dá)到軟化處理的效果。
提高金屬材料的塑性和韌性：退火爐還可以通過(guò)改變金屬材料的晶界結(jié)構(gòu)和晶粒大小，提高材料的塑性和韌性。在退火爐中，金屬材料會(huì)在高溫下保持一段時(shí)間，使晶界內(nèi)的原子有足夠的時(shí)間進(jìn)行擴(kuò)散和重排，形成較為穩(wěn)定的晶界結(jié)構(gòu)。晶界結(jié)構(gòu)的改變可以使材料的塑性和韌性得到提高，從而增加材料的可加工性和抗變形能力。
消除鑄造、鍛壓、軋制和焊接過(guò)程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開(kāi)裂。