退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能，熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。
可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理，退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的，退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。

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那么，關(guān)于退火爐應(yīng)如何操作？
1、裝爐前應(yīng)按生產(chǎn)工藝卡片要求，認(rèn)真核對(duì)帶卷或垛板的合金牌號(hào)、批號(hào)、規(guī)格、狀態(tài)、重量，按要求填寫記錄。
2、裝料時(shí)一定要裝正，帶卷上下左右前后基本對(duì)稱，卷與卷之間間隙基本一致，不允許超重、超長(zhǎng)、超寬、超高。退火時(shí)卷與卷、垛與垛的重量差要盡量小(卷與卷的重量差小于1?T，垛與垛的重量差小于0.5T)。
特殊情況時(shí)，考慮裝爐的經(jīng)濟(jì)性，可將不同厚度、不同重量的成品裝在一爐內(nèi)退火，但必須分區(qū)控制溫度，有重量差時(shí)應(yīng)將熱電偶插在小卷或小垛上。
3、正確安插熱電偶，熱電偶的安插深度為：卷材25～30mm，板材≮50mm。其安插位置必須位于卷或垛的中心位置，并要求安插牢靠，不漏氣，無(wú)短路現(xiàn)象。
4、打開爐門，首先松開爐門壓緊裝置，將爐門提升到上極限位置，并插好安全銷。
5、進(jìn)爐過(guò)程，⑴10T爐應(yīng)先把小車和料車間的銷子插好，然后開動(dòng)小車，把料車推進(jìn)爐膛內(nèi)，等料車到位停穩(wěn)后拔出銷子，最后把小車開出爐膛停在原定的位置上。⑵20T爐應(yīng)先接通卸料車電源，啟動(dòng)油泵電機(jī)，用頂升機(jī)構(gòu)將裝有工件的料盤頂升到上限位，然后把卸料車開入爐膛內(nèi)到正確位置，并將料盤放在爐膛內(nèi)的立柱上，待料盤放穩(wěn)后，把卸料車開出爐膛外停在原定的位置上，并關(guān)停油泵及卸料車電源。
6、關(guān)閉爐門，等小車停穩(wěn)后，拔出爐門安全銷，降下爐門到下極限位，并用氣缸壓緊爐門，爐門壓緊應(yīng)均勻、密封，無(wú)明顯漏氣現(xiàn)象。
7、出爐過(guò)程與進(jìn)爐過(guò)程的操作程序相反。