真空加熱爐通常指的是電加熱爐，爐中的產(chǎn)品是由包圍真空氣氛包圍進(jìn)行處理，沒(méi)有空氣或其他氣體可防止氧化，通過(guò)對(duì)流從產(chǎn)品中散失熱量，并消除污染源。

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大多數(shù)真空爐由石墨，陶瓷或金屬制成的電阻元件加熱，真空爐用于執(zhí)行諸如的過(guò)程退火，釬焊，燒結(jié)和熱處理，具有高稠度和低污染的優(yōu)勢(shì)。
真空系統(tǒng)工作時(shí)，先啟動(dòng)機(jī)械泵、維持泵和擴(kuò)散泵（加熱）同時(shí)打開(kāi)前閥和維持泵閥，對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)進(jìn)行抽真空。
當(dāng)真空度達(dá)到系統(tǒng)某設(shè)定值時(shí)，羅茨泵啟動(dòng)，同時(shí)旁路閥打開(kāi)，前閥關(guān)閉，此時(shí)對(duì)真空室進(jìn)行抽低真空當(dāng)擴(kuò)散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時(shí)，高閥打開(kāi)，旁路閥關(guān)閉，前閥打開(kāi)。
此時(shí)對(duì)真空室抽高真空，達(dá)到工藝要求的真空度以后，方可進(jìn)行熱處理工作。熱加工過(guò)程完成后，由熱交換器對(duì)井式真空退火爐的真空室充入高純氮?dú)膺M(jìn)行強(qiáng)制冷卻，完成整個(gè)工藝過(guò)程。
其次，在真空條件下，碳具有很強(qiáng)的脫氧能力，其脫氧產(chǎn)物CO不斷被抽至系統(tǒng)之外，克服了采用金屬脫氧劑脫氧的污染問(wèn)題，真空爐工藝可控制合金的化學(xué)成分，對(duì)于含有和氧、氮親和力強(qiáng)的活性元素Al、Ti、B、Zr等，可控制在很少的范圍內(nèi)。
對(duì)低熔點(diǎn)易揮發(fā)的金屬雜質(zhì)，如Pb、Bi、Sn、Sb等能蒸發(fā)去除，這對(duì)提高材料性能起到重要作用，強(qiáng)烈的感應(yīng)攪拌作用，能加速其反應(yīng)速度，這對(duì)于熔池溫度均勻、化學(xué)成分均勻等方面很有果。